ČSN EN 62047-15 (358775) Zrušená norma
Polovodičové součástky - Mikroelektromechanické součástky - Část 15: Metoda zkoušení pevnosti spojení mezi PDMS a sklem
Pokud byste ji přesto chtěli zajistit, vyplňte prosím poptávkový formulář.
Anotace obsahu normy
Tato norma popisuje metodu zkoušení pevnosti spojení mezi polydimethylsiloxanem (PDMS) a sklem. Pryž na bázi silikonu, PDMS, se používá na vytváření mikrofluidních součástek na bázi čipu vyrobených pomocí procesů litografie a odlévání repliky. Problém pevnosti spojení je především u vysokotlakých aplikací jako v případě peristaltických čerpadel, kde je vzduch stlačený mimo čip použit pro ovládání tekutiny v mikrokanálech vytvořených dvěma vrstvami, jednou utvořenou vazbou mezi sklem s odlévanou replikou PDMS a druhou mezi PDMS a PDMS. V případě systémů, které mají pneumatické mikroventily se stává zcela nutná relativně vysoká úroveň spojení mezi dvěma vrstvami PDMS. Obvykle se vyskytují netěsnosti a rozrušující jevy mezi rozhraním spojených oblastí, které způsobují nestabilitu a zkracují dobu života součástek MEMS. Tato norma stanoví obecné postupy zkoušky spojení PDMS a skleněným čipem.
| Označení | ČSN EN 62047-15 (358775) |
|---|---|
| Katalogové číslo | 98267 |
| Cena | 230 Kč230 |
| Datum schválení | 1. 9. 2015 |
| Datum účinnosti | 1. 10. 2015 |
| Jazyk | angličtina (obsahuje anglický text a českou titulní stranu) |
| Počet stran | 20 stran formátu A4 |
| EAN kód | 8590963982670 |
| Norma byla zrušena k | 1. 8. 2018 |
| Dostupnost | skladem (tisk na počkání) |
Další příbuzné normy
ČSN EN 62047-1 ed. 2 (358775)
Polovodičové součástky - Mikroelektromechanické součástky - Část 1: Termíny a definice
ČSN EN 62047-10 (358775)
Polovodičové součástky - Mikroelektromechanické součástky - Část 10: Zkouška tlakem mikrosloupku pro materiály MEMS
ČSN EN 62047-11 (358775)
Polovodičové součástky - Mikroelektromechanické součástky - Část 11: Zkušební metoda pro koeficienty lineární tepelné roztažnosti volně umístěných materiálů pro mikroelektromechanické systémy
ČSN EN 62047-12 (358775)
Polovodičové součástky - Mikroelektromechanické součástky - Část 12: Metoda zkoušení ohybové únavy tenkovrstvých materiálů využívající rezonanční vibrace struktur MEMS
ČSN EN 62047-13 (358775)
Polovodičové součástky - Mikroelektromechanické součástky - Část 13: Namáhání struktur MEMS ohybem a střihem pro měření adhezní pevnosti
ČSN EN 62047-14 (358775)
Polovodičové součástky - Mikroelektromechanické součástky - Část 14: Metoda měření mezní tvářitelnosti materiálů kovové vrstvy
ČSN EN 62047-16 (358775)
Polovodičové součástky - Mikroelektromechanické součástky - Část 16: Metody zkoušení pro stanovení zbytkového pnutí vrstev MEMS - Metody zakřivení desky a ohyb konzolového nosníku
ČSN EN 62047-17 (358775)
Polovodičové součástky - Mikroelektromechanické součástky - Část 17: Zkušební metoda vyboulení pro měření mechanických vlastností tenkých vrstev
ČSN EN 62047-18 (358775)
Polovodičové součástky - Mikroelektromechanické součástky - Část 18: Metoda zkoušení ohybu tenkovrstvých materiálů
ČSN EN 62047-19 (358775)
Polovodičové součástky - Mikroelektromechanické součástky - Část 19: Elektronické kompasy