Vážení zákazníci,
aby bylo možné dodat objednané zboží před začátkem vánočních svátků, odešleme poslední várku zboží v tomto roce v pátek 19. prosince. Objednávky došlé po 10. hodině 19. prosince odešleme až 5. ledna 2026. Od 19. prosince do 2. ledna taktéž nebude možný osobní odběr objednaných norem.
Děkujeme za váš zájem v tomto roce,
přejeme vám hodně zdraví, pohody a úspěchů v roce 2026.
Tato norma popisuje metodu zkoušení pevnosti spojení mezi polydimethylsiloxanem (PDMS) a sklem. Pryž na bázi silikonu, PDMS, se používá na vytváření mikrofluidních součástek na bázi čipu vyrobených pomocí procesů litografie a odlévání repliky. Problém pevnosti spojení je především u vysokotlakých aplikací jako v případě peristaltických čerpadel, kde je vzduch stlačený mimo čip použit pro ovládání tekutiny v mikrokanálech vytvořených dvěma vrstvami, jednou utvořenou vazbou mezi sklem s odlévanou replikou PDMS a druhou mezi PDMS a PDMS. V případě systémů, které mají pneumatické mikroventily se stává zcela nutná relativně vysoká úroveň spojení mezi dvěma vrstvami PDMS. Obvykle se vyskytují netěsnosti a rozrušující jevy mezi rozhraním spojených oblastí, které způsobují nestabilitu a zkracují dobu života součástek MEMS. Tato norma stanoví obecné postupy zkoušky spojení PDMS a skleněným čipem.
| Označení | ČSN EN 62047-15 (358775) |
|---|---|
| Katalogové číslo | 98267 |
| Cena | 230 Kč230 |
| Datum schválení | 1. 9. 2015 |
| Datum účinnosti | 1. 10. 2015 |
| Jazyk | angličtina (obsahuje anglický text a českou titulní stranu) |
| Počet stran | 20 stran formátu A4 |
| EAN kód | 8590963982670 |
| Norma byla zrušena k | 1. 8. 2018 |
| Dostupnost | skladem (tisk na počkání) |
ČSN EN 62047-1 ed. 2 (358775)
Polovodičové součástky - Mikroelektromechanické součástky - Část 1: Termíny a definice
ČSN EN 62047-10 (358775)
Polovodičové součástky - Mikroelektromechanické součástky - Část 10: Zkouška tlakem mikrosloupku pro materiály MEMS
ČSN EN 62047-11 (358775)
Polovodičové součástky - Mikroelektromechanické součástky - Část 11: Zkušební metoda pro koeficienty lineární tepelné roztažnosti volně umístěných materiálů pro mikroelektromechanické systémy
ČSN EN 62047-12 (358775)
Polovodičové součástky - Mikroelektromechanické součástky - Část 12: Metoda zkoušení ohybové únavy tenkovrstvých materiálů využívající rezonanční vibrace struktur MEMS
ČSN EN 62047-13 (358775)
Polovodičové součástky - Mikroelektromechanické součástky - Část 13: Namáhání struktur MEMS ohybem a střihem pro měření adhezní pevnosti
ČSN EN 62047-14 (358775)
Polovodičové součástky - Mikroelektromechanické součástky - Část 14: Metoda měření mezní tvářitelnosti materiálů kovové vrstvy
ČSN EN 62047-16 (358775)
Polovodičové součástky - Mikroelektromechanické součástky - Část 16: Metody zkoušení pro stanovení zbytkového pnutí vrstev MEMS - Metody zakřivení desky a ohyb konzolového nosníku
ČSN EN 62047-17 (358775)
Polovodičové součástky - Mikroelektromechanické součástky - Část 17: Zkušební metoda vyboulení pro měření mechanických vlastností tenkých vrstev
ČSN EN 62047-18 (358775)
Polovodičové součástky - Mikroelektromechanické součástky - Část 18: Metoda zkoušení ohybu tenkovrstvých materiálů
ČSN EN 62047-19 (358775)
Polovodičové součástky - Mikroelektromechanické součástky - Část 19: Elektronické kompasy