Vánoční provoz a PF 2026
Vážení zákazníci,
aby bylo možné dodat objednané zboží před začátkem vánočních svátků, odešleme poslední várku zboží v tomto roce v pátek 19. prosince. Objednávky došlé po 10. hodině 19. prosince odešleme až 5. ledna 2026. Od 19. prosince do 2. ledna taktéž nebude možný osobní odběr objednaných norem.
Děkujeme za váš zájem v tomto roce,
přejeme vám hodně zdraví, pohody a úspěchů v roce 2026.
ČSN EN 62047-26 (358775)
Polovodičové součástky - Mikroelektromechanické součástky - Část 26: Popis a měřicí metody pro mikrostruktury zářezů a jehel
(kliknutím zvětšíte)
Anotace obsahu normy
Tato norma specifikuje popisy struktur zářezů a jehel v mikrometrovém měřítku. Dále poskytuje příklady měření pro geometrii obou struktur. Norma platí pro struktury zářezů s hloubkou od 1 µm do 100 µm, stěnami a zářezy s příslušnými šířkami od 5 µm do 150 µm a poměrem (hloubky zářezu k šířce zářezu) 0,006 7 až 20 a dále pro jehlové struktury se třemi nebo čtyřmi plochami s výškou, vodorovnou a svislou šířkou 2 µm nebo větší a s rozměry, které se vejdou do krychle o straně 100 µm. Norma platí pro navrhování konstrukcí MEMS a pro geometrické hodnocení po procesech zhotovení MEMS.
| Označení | ČSN EN 62047-26 (358775) |
|---|---|
| Katalogové číslo | 500478 |
| Cena | 440 Kč440 |
| Datum schválení | 1. 8. 2016 |
| Datum účinnosti | 1. 9. 2016 |
| Jazyk | angličtina (obsahuje anglický text a českou titulní stranu) |
| Počet stran | 40 stran formátu A4 |
| EAN kód | 8596135004782 |
| Dostupnost | skladem (tisk na počkání) |
Další příbuzné normy
ČSN EN 62047-1 ed. 2 (358775)
Polovodičové součástky - Mikroelektromechanické součástky - Část 1: Termíny a definice
ČSN EN 62047-10 (358775)
Polovodičové součástky - Mikroelektromechanické součástky - Část 10: Zkouška tlakem mikrosloupku pro materiály MEMS
ČSN EN 62047-11 (358775)
Polovodičové součástky - Mikroelektromechanické součástky - Část 11: Zkušební metoda pro koeficienty lineární tepelné roztažnosti volně umístěných materiálů pro mikroelektromechanické systémy
ČSN EN 62047-12 (358775)
Polovodičové součástky - Mikroelektromechanické součástky - Část 12: Metoda zkoušení ohybové únavy tenkovrstvých materiálů využívající rezonanční vibrace struktur MEMS
ČSN EN 62047-13 (358775)
Polovodičové součástky - Mikroelektromechanické součástky - Část 13: Namáhání struktur MEMS ohybem a střihem pro měření adhezní pevnosti
ČSN EN 62047-14 (358775)
Polovodičové součástky - Mikroelektromechanické součástky - Část 14: Metoda měření mezní tvářitelnosti materiálů kovové vrstvy
ČSN EN 62047-16 (358775)
Polovodičové součástky - Mikroelektromechanické součástky - Část 16: Metody zkoušení pro stanovení zbytkového pnutí vrstev MEMS - Metody zakřivení desky a ohyb konzolového nosníku
ČSN EN 62047-17 (358775)
Polovodičové součástky - Mikroelektromechanické součástky - Část 17: Zkušební metoda vyboulení pro měření mechanických vlastností tenkých vrstev
ČSN EN 62047-18 (358775)
Polovodičové součástky - Mikroelektromechanické součástky - Část 18: Metoda zkoušení ohybu tenkovrstvých materiálů
ČSN EN 62047-19 (358775)
Polovodičové součástky - Mikroelektromechanické součástky - Část 19: Elektronické kompasy