ČSN EN 62047-16 (358775)

Polovodičové součástky - Mikroelektromechanické součástky - Část 16: Metody zkoušení pro stanovení zbytkového pnutí vrstev MEMS - Metody zakřivení desky a ohyb konzolového nosníku

ČSN EN 62047-16 Polovodičové součástky - Mikroelektromechanické součástky - Část 16: Metody zkoušení pro stanovení zbytkového pnutí vrstev MEMS - Metody zakřivení desky a ohyb konzolového nosníku
titulní stránka
(kliknutím zvětšíte)
Objednat
Cena: 230 Kč
včetně 15 % DPH
ks
skladem
tisk na počkání

Anotace obsahu normy

Tato norma popisuje metodu zkoušení pro stanovení zbytkového pnutí vrstev s tloušťkami v rozsahu 0,01 µm do 10 µm ve strukturách MEMS vytvořených metodou zakřivení desky nebo metodou ohybu konzolového nosníku. Vrstvy by měly být naneseny na substrát známých mechanických vlastností Youngova modulu a Poissonova poměru. Tyto metody slouží k určení zbytkového pnutí tenkých vrstev nanesených na substrátu.

Označení ČSN EN 62047-16 (358775)
Katalogové číslo 98269
Cena 230 Kč230
Datum schválení 1. 9. 2015
Datum účinnosti 1. 10. 2015
Jazyk angličtina (obsahuje anglický text a českou titulní stranu)
Počet stran 20 stran formátu A4
EAN kód 8590963982694
Dostupnost skladem (tisk na počkání)

Další příbuzné normy

ČSN EN 62047-1 ed. 2 (358775)
Polovodičové součástky - Mikroelektromechanické součástky - Část 1: Termíny a definice

ČSN EN 62047-10 (358775)
Polovodičové součástky - Mikroelektromechanické součástky - Část 10: Zkouška tlakem mikrosloupku pro materiály MEMS

ČSN EN 62047-11 (358775)
Polovodičové součástky - Mikroelektromechanické součástky - Část 11: Zkušební metoda pro koeficienty lineární tepelné roztažnosti volně umístěných materiálů pro mikroelektromechanické systémy

ČSN EN 62047-12 (358775)
Polovodičové součástky - Mikroelektromechanické součástky - Část 12: Metoda zkoušení ohybové únavy tenkovrstvých materiálů využívající rezonanční vibrace struktur MEMS

ČSN EN 62047-13 (358775)
Polovodičové součástky - Mikroelektromechanické součástky - Část 13: Namáhání struktur MEMS ohybem a střihem pro měření adhezní pevnosti

ČSN EN 62047-14 (358775)
Polovodičové součástky - Mikroelektromechanické součástky - Část 14: Metoda měření mezní tvářitelnosti materiálů kovové vrstvy

ČSN EN 62047-17 (358775)
Polovodičové součástky - Mikroelektromechanické součástky - Část 17: Zkušební metoda vyboulení pro měření mechanických vlastností tenkých vrstev

ČSN EN 62047-18 (358775)
Polovodičové součástky - Mikroelektromechanické součástky - Část 18: Metoda zkoušení ohybu tenkovrstvých materiálů

ČSN EN 62047-19 (358775)
Polovodičové součástky - Mikroelektromechanické součástky - Část 19: Elektronické kompasy

ČSN EN 62047-2 (358775)
Polovodičové součástky - Mikroelektromechanické součástky - Část 2: Metody zkoušek v tahu tenkovrstvových materiálů

ČSN EN 62047-20 (358775)
Polovodičové součástky - Mikroelektromechanické součástky - Část 20: Gyroskopy

ČSN EN 62047-21 (358775)
Polovodičové součástky - Mikroelektromechanické součástky - Část 21: Metoda zkoušení pro Poissonův poměr tenkovrstvých materiálů MEMS

ČSN EN 62047-22 (358775)
Polovodičové součástky - Mikroelektromechanické součástky - Část 22: Elektromechanická metoda zkoušky tahem pro vodivé tenké vrstvy na pružných substrátech

ČSN EN 62047-25 (358775)
Polovodičové součástky - Mikroelektromechanické součástky - Část 25: MEMS zhotovené technologií na bázi křemíku - Metoda měření pevnosti při namáhání tah-tlak a ve smyku pro mikrooblast připojení

ČSN EN 62047-26 (358775)
Polovodičové součástky - Mikroelektromechanické součástky - Část 26: Popis a měřicí metody pro mikrostruktury zářezů a jehel

ČSN EN 62047-3 (358775)
Polovodičové součástky - Mikroelektromechanické součástky - Část 3: Tenkovrstvové normalizované zkušební kusy pro zkoušky v tahu

ČSN EN 62047-4 (358775)
Polovodičové součástky - Mikroelektromechanické součástky - Část 4: Kmenová specifikace pro MEMS

ČSN EN 62047-5 (358775)
Polovodičové součástky - Mikroelektromechanické součástky - Část 5: Spínače RF MEMS

ČSN EN 62047-6 (358775)
Polovodičové součástky - Mikroelektromechanické součástky - Část 6: Metody zkoušení axiální únavy tenkovrstvých materiálů

ČSN EN 62047-7 (358775)
Polovodičové součástky - Mikroelektromechanické součástky - Část 7: MEMS BAW filtr a duplexer pro řízení a výběr rádiových kmitočtů

ČSN EN 62047-8 (358775)
Polovodičové součástky - Mikroelektromechanické součástky - Část 8: Zkušební metoda ohýbání proužku pro měření tahových vlastností tenkých vrstev

ČSN EN 62047-9 (358775)
Polovodičové součástky - Mikroelektromechanické součástky - Část 9: Měření pevnosti spojení dvou destiček pro MEMS

ČSN IEC 62047-28 (358775)
Polovodičové součástky - Mikroelektromechanické součástky - Část 28: Provozní zkouška pro vibracemi buzené elektretové součástky MEMS získávající energii