ČSN EN 62047-11 (358775)
Polovodičové součástky - Mikroelektromechanické součástky - Část 11: Zkušební metoda pro koeficienty lineární tepelné roztažnosti volně umístěných materiálů pro mikroelektromechanické systémy
Anotace obsahu normy
Tato norma popisuje zkušební metodu na měření lineárního koeficientu teplotní roztažnosti (CLTE) volně umístěných pevných (kovových, keramických, polymerních aj.) materiálů pro mikroelektromechanické systémy (MEMS) délek mezi 0,1 mm až 1 mm a šířek mezi 10 _m až 1 mm s tloušťkami od 0,1 _m do 1 mm. Jedná se o hlavní konstrukční materiály, které se používají pro MEMS, mikrostroje a další. Tato zkušební metoda se dá použít pro měření CLTE v teplotním rozsahu od pokojové teploty do 30 % teploty tavení materiálu.
| Označení | ČSN EN 62047-11 (358775) |
|---|---|
| Katalogové číslo | 95058 |
| Cena | 350 Kč350 |
| Datum schválení | 1. 4. 2014 |
| Datum účinnosti | 1. 5. 2014 |
| Jazyk | angličtina (obsahuje anglický text a českou titulní stranu) |
| Počet stran | 32 stran formátu A4 |
| EAN kód | 8590963950587 |
| Dostupnost | skladem (tisk na počkání) |
Další příbuzné normy
ČSN EN 62047-1 ed. 2 (358775)
Polovodičové součástky - Mikroelektromechanické součástky - Část 1: Termíny a definice
ČSN EN 62047-10 (358775)
Polovodičové součástky - Mikroelektromechanické součástky - Část 10: Zkouška tlakem mikrosloupku pro materiály MEMS
ČSN EN 62047-12 (358775)
Polovodičové součástky - Mikroelektromechanické součástky - Část 12: Metoda zkoušení ohybové únavy tenkovrstvých materiálů využívající rezonanční vibrace struktur MEMS
ČSN EN 62047-13 (358775)
Polovodičové součástky - Mikroelektromechanické součástky - Část 13: Namáhání struktur MEMS ohybem a střihem pro měření adhezní pevnosti
ČSN EN 62047-14 (358775)
Polovodičové součástky - Mikroelektromechanické součástky - Část 14: Metoda měření mezní tvářitelnosti materiálů kovové vrstvy
ČSN EN 62047-16 (358775)
Polovodičové součástky - Mikroelektromechanické součástky - Část 16: Metody zkoušení pro stanovení zbytkového pnutí vrstev MEMS - Metody zakřivení desky a ohyb konzolového nosníku
ČSN EN 62047-17 (358775)
Polovodičové součástky - Mikroelektromechanické součástky - Část 17: Zkušební metoda vyboulení pro měření mechanických vlastností tenkých vrstev
ČSN EN 62047-18 (358775)
Polovodičové součástky - Mikroelektromechanické součástky - Část 18: Metoda zkoušení ohybu tenkovrstvých materiálů
ČSN EN 62047-19 (358775)
Polovodičové součástky - Mikroelektromechanické součástky - Část 19: Elektronické kompasy
ČSN EN 62047-2 (358775)
Polovodičové součástky - Mikroelektromechanické součástky - Část 2: Metody zkoušek v tahu tenkovrstvových materiálů