ČSN EN 62047-4 (358775)
Polovodičové součástky - Mikroelektromechanické součástky - Část 4: Kmenová specifikace pro MEMS
Anotace obsahu normy
Tato norma popisuje kmenovou specifikaci pro mikroelektromechanické systémy (MEMS). Tato kmenová specifikace je základem pro specifikace uvedené v dalších částech tohoto souboru pro různé typy MEMS aplikací, jako jsou senzory, RF MEMS, vyjma optických MEMS, bio MEMS, mikro TAS a výkonových MEMS. Tato norma určuje obecné postupy pro stanovení kvality, které se používají pro IECQ-CECC systémy a určují obecné principy pro určení a testování elektrických, optických, mechanických vlastností a vlastností, které mají vliv na životní prostředí.
Tato kmenová specifikace pomáhá v přípravě norem, které popisují součástky a systémy, které jsou vyrobeny pro technologii mikroopracování, zahrnují, avšak nejsou limitovány charakteristikou materiálu, manipulací, montáží a testováním, řízením výroby a měřicími metodami. MEMS, které jsou uvedeny v této normě jsou v podstatě vyrobeny z polovodičů. Avšak ustanovení, která jsou uvedena v této normě, mohou být také použita pro MEMS, které používají jiné materiály než polovodiče, například polymery, sklo, kovy a keramické materiály.
| Označení | ČSN EN 62047-4 (358775) |
|---|---|
| Katalogové číslo | 88189 |
| Cena | 350 Kč350 |
| Datum schválení | 1. 5. 2011 |
| Datum účinnosti | 1. 6. 2011 |
| Jazyk | angličtina (obsahuje anglický text a českou titulní stranu) |
| Počet stran | 32 stran formátu A4 |
| EAN kód | 8590963881898 |
| Dostupnost | skladem (tisk na počkání) |
Další příbuzné normy
ČSN EN 62047-1 ed. 2 (358775)
Polovodičové součástky - Mikroelektromechanické součástky - Část 1: Termíny a definice
ČSN EN 62047-10 (358775)
Polovodičové součástky - Mikroelektromechanické součástky - Část 10: Zkouška tlakem mikrosloupku pro materiály MEMS
ČSN EN 62047-11 (358775)
Polovodičové součástky - Mikroelektromechanické součástky - Část 11: Zkušební metoda pro koeficienty lineární tepelné roztažnosti volně umístěných materiálů pro mikroelektromechanické systémy
ČSN EN 62047-12 (358775)
Polovodičové součástky - Mikroelektromechanické součástky - Část 12: Metoda zkoušení ohybové únavy tenkovrstvých materiálů využívající rezonanční vibrace struktur MEMS
ČSN EN 62047-13 (358775)
Polovodičové součástky - Mikroelektromechanické součástky - Část 13: Namáhání struktur MEMS ohybem a střihem pro měření adhezní pevnosti
ČSN EN 62047-14 (358775)
Polovodičové součástky - Mikroelektromechanické součástky - Část 14: Metoda měření mezní tvářitelnosti materiálů kovové vrstvy
ČSN EN 62047-16 (358775)
Polovodičové součástky - Mikroelektromechanické součástky - Část 16: Metody zkoušení pro stanovení zbytkového pnutí vrstev MEMS - Metody zakřivení desky a ohyb konzolového nosníku
ČSN EN 62047-17 (358775)
Polovodičové součástky - Mikroelektromechanické součástky - Část 17: Zkušební metoda vyboulení pro měření mechanických vlastností tenkých vrstev
ČSN EN 62047-18 (358775)
Polovodičové součástky - Mikroelektromechanické součástky - Část 18: Metoda zkoušení ohybu tenkovrstvých materiálů
ČSN EN 62047-19 (358775)
Polovodičové součástky - Mikroelektromechanické součástky - Část 19: Elektronické kompasy