ČSN EN 62047-1 ed. 2 (358775) Aktuální vydání
Polovodičové součástky - Mikroelektromechanické součástky - Část 1: Termíny a definice
Anotace obsahu normy
Tato část IEC 62047 definuje termíny pro mikroelektromechanické součástky včetně procesu výroby těchto součástek.
| Označení | ČSN EN 62047-1 ed. 2 (358775) |
|---|---|
| Katalogové číslo | 500696 |
| Cena | 350 Kč350 |
| Datum schválení | 1. 9. 2016 |
| Datum účinnosti | 1. 10. 2016 |
| Jazyk | čeština |
| Počet stran | 32 stran formátu A4 |
| EAN kód | 8596135006960 |
| Tato norma nahradila | ČSN EN 62047-1 (358775) z dubna 2007 |
| Dostupnost | skladem (tisk na počkání) |
Další příbuzné normy
ČSN EN 62047-10 (358775)
Polovodičové součástky - Mikroelektromechanické součástky - Část 10: Zkouška tlakem mikrosloupku pro materiály MEMS
ČSN EN 62047-11 (358775)
Polovodičové součástky - Mikroelektromechanické součástky - Část 11: Zkušební metoda pro koeficienty lineární tepelné roztažnosti volně umístěných materiálů pro mikroelektromechanické systémy
ČSN EN 62047-12 (358775)
Polovodičové součástky - Mikroelektromechanické součástky - Část 12: Metoda zkoušení ohybové únavy tenkovrstvých materiálů využívající rezonanční vibrace struktur MEMS
ČSN EN 62047-13 (358775)
Polovodičové součástky - Mikroelektromechanické součástky - Část 13: Namáhání struktur MEMS ohybem a střihem pro měření adhezní pevnosti
ČSN EN 62047-14 (358775)
Polovodičové součástky - Mikroelektromechanické součástky - Část 14: Metoda měření mezní tvářitelnosti materiálů kovové vrstvy
ČSN EN 62047-16 (358775)
Polovodičové součástky - Mikroelektromechanické součástky - Část 16: Metody zkoušení pro stanovení zbytkového pnutí vrstev MEMS - Metody zakřivení desky a ohyb konzolového nosníku
ČSN EN 62047-17 (358775)
Polovodičové součástky - Mikroelektromechanické součástky - Část 17: Zkušební metoda vyboulení pro měření mechanických vlastností tenkých vrstev
ČSN EN 62047-18 (358775)
Polovodičové součástky - Mikroelektromechanické součástky - Část 18: Metoda zkoušení ohybu tenkovrstvých materiálů
ČSN EN 62047-19 (358775)
Polovodičové součástky - Mikroelektromechanické součástky - Část 19: Elektronické kompasy
ČSN EN 62047-2 (358775)
Polovodičové součástky - Mikroelektromechanické součástky - Část 2: Metody zkoušek v tahu tenkovrstvových materiálů