Vánoční provoz a PF 2026
Vážení zákazníci,
aby bylo možné dodat objednané zboží před začátkem vánočních svátků, odešleme poslední várku zboží v tomto roce v pátek 19. prosince. Objednávky došlé po 10. hodině 19. prosince odešleme až 5. ledna 2026. Od 19. prosince do 2. ledna taktéž nebude možný osobní odběr objednaných norem.
Děkujeme za váš zájem v tomto roce,
přejeme vám hodně zdraví, pohody a úspěchů v roce 2026.
ČSN EN 62047-12 (358775)
Polovodičové součástky - Mikroelektromechanické součástky - Část 12: Metoda zkoušení ohybové únavy tenkovrstvých materiálů využívající rezonanční vibrace struktur MEMS
Anotace obsahu normy
Tato norma definuje metodu pro zkoušení ohybové únavy, která používá rezonanční vibrace struktur MEMS (mikroelektromechanických systémů) a mikrostrojů. Tato norma je určena pro vibrující struktury, které mají rozměry od 10 _m do 1 000 _m v rovinném směru a tloušťku 1 _m až 100 _m a zkušební materiály pod 1mm délky, 1mm šířky a 0,1 _m až 10 _m tloušťky.
Hlavní konstrukční materiály, které se používají pro MEMS, mikrostroje atd. mají speciální vlastnosti, mezi které patří typické rozměry v rozsahu několika mikrometrů, speciální metoda nanášení, opracování nemechanickými metodami včetně fotolitografie. MEMS systémy mají často vyšší rezonanční kmitočet a vyšší pevnost než makrostruktury. Pro zjištění a zkoumání zaručené životnosti musí být použito namáhání ultravysokou cyklickou únavou (nad 1012 cyklů). Předmětem zkušební metody je zkoumání únavy při mechanickém namáhání u materiálů mikrorozměrů za použití vibrací aplikovaných v krátké době, při vysokém kmitočtu a vysokém zatížení resonátoru při ohybu.
| Označení | ČSN EN 62047-12 (358775) |
|---|---|
| Katalogové číslo | 90486 |
| Cena | 440 Kč440 |
| Datum schválení | 1. 4. 2012 |
| Datum účinnosti | 1. 5. 2012 |
| Jazyk | angličtina (obsahuje anglický text a českou titulní stranu) |
| Počet stran | 40 stran formátu A4 |
| EAN kód | 8590963904863 |
| Dostupnost | skladem (tisk na počkání) |
Další příbuzné normy
ČSN EN 62047-1 ed. 2 (358775)
Polovodičové součástky - Mikroelektromechanické součástky - Část 1: Termíny a definice
ČSN EN 62047-10 (358775)
Polovodičové součástky - Mikroelektromechanické součástky - Část 10: Zkouška tlakem mikrosloupku pro materiály MEMS
ČSN EN 62047-11 (358775)
Polovodičové součástky - Mikroelektromechanické součástky - Část 11: Zkušební metoda pro koeficienty lineární tepelné roztažnosti volně umístěných materiálů pro mikroelektromechanické systémy
ČSN EN 62047-13 (358775)
Polovodičové součástky - Mikroelektromechanické součástky - Část 13: Namáhání struktur MEMS ohybem a střihem pro měření adhezní pevnosti
ČSN EN 62047-14 (358775)
Polovodičové součástky - Mikroelektromechanické součástky - Část 14: Metoda měření mezní tvářitelnosti materiálů kovové vrstvy
ČSN EN 62047-16 (358775)
Polovodičové součástky - Mikroelektromechanické součástky - Část 16: Metody zkoušení pro stanovení zbytkového pnutí vrstev MEMS - Metody zakřivení desky a ohyb konzolového nosníku
ČSN EN 62047-17 (358775)
Polovodičové součástky - Mikroelektromechanické součástky - Část 17: Zkušební metoda vyboulení pro měření mechanických vlastností tenkých vrstev
ČSN EN 62047-18 (358775)
Polovodičové součástky - Mikroelektromechanické součástky - Část 18: Metoda zkoušení ohybu tenkovrstvých materiálů
ČSN EN 62047-19 (358775)
Polovodičové součástky - Mikroelektromechanické součástky - Část 19: Elektronické kompasy
ČSN EN 62047-2 (358775)
Polovodičové součástky - Mikroelektromechanické součástky - Část 2: Metody zkoušek v tahu tenkovrstvových materiálů