ČSN EN 62047-3 (358775)
Polovodičové součástky - Mikroelektromechanické součástky - Část 3: Tenkovrstvové normalizované zkušební kusy pro zkoušky v tahu
Anotace obsahu normy
Tato mezinárodní norma specifikuje normalizovaný zkušební kus, který se používá pro zajišťování vhodnosti a přesnosti systému zkoušení v tahu pro tenkovrstvové materiály o délce a šířce pod 1 mm a tloušťce pod 10 µm, které jsou hlavním materiálem struktury mikroelektromechanických systémů (MEMS) mikrostrojů a podobných součástek.
Tato mezinárodní norma vychází z koncepce, aby systém zkoušek v tahu mohl zaručovat vhodnost a přesnost při měření pevnosti v tahu normalizovaných zkušebních kusů, jejichž pevnost v tahu je stanovena předem, v předpokládaném rozsahu. Norma rovněž stanoví zkušební kusy pro minimalizaci odchylek charakteristik mezi zkoušenými kusy.
Přejímaná EN 62047-3 představuje 3 strany anglického textu a 15 stran anglického a francouzského textu normy IEC.
| Označení | ČSN EN 62047-3 (358775) |
|---|---|
| Katalogové číslo | 78595 |
| Cena | 340 Kč340 |
| Datum schválení | 1. 5. 2007 |
| Datum účinnosti | 1. 6. 2007 |
| Jazyk | angličtina (obsahuje anglický text a českou titulní stranu) |
| Počet stran | 24 stran formátu A4 |
| EAN kód | 8590963785950 |
| Dostupnost | skladem (tisk na počkání) |
Další příbuzné normy
ČSN EN 62047-1 ed. 2 (358775)
Polovodičové součástky - Mikroelektromechanické součástky - Část 1: Termíny a definice
ČSN EN 62047-10 (358775)
Polovodičové součástky - Mikroelektromechanické součástky - Část 10: Zkouška tlakem mikrosloupku pro materiály MEMS
ČSN EN 62047-11 (358775)
Polovodičové součástky - Mikroelektromechanické součástky - Část 11: Zkušební metoda pro koeficienty lineární tepelné roztažnosti volně umístěných materiálů pro mikroelektromechanické systémy
ČSN EN 62047-12 (358775)
Polovodičové součástky - Mikroelektromechanické součástky - Část 12: Metoda zkoušení ohybové únavy tenkovrstvých materiálů využívající rezonanční vibrace struktur MEMS
ČSN EN 62047-13 (358775)
Polovodičové součástky - Mikroelektromechanické součástky - Část 13: Namáhání struktur MEMS ohybem a střihem pro měření adhezní pevnosti
ČSN EN 62047-14 (358775)
Polovodičové součástky - Mikroelektromechanické součástky - Část 14: Metoda měření mezní tvářitelnosti materiálů kovové vrstvy
ČSN EN 62047-16 (358775)
Polovodičové součástky - Mikroelektromechanické součástky - Část 16: Metody zkoušení pro stanovení zbytkového pnutí vrstev MEMS - Metody zakřivení desky a ohyb konzolového nosníku
ČSN EN 62047-17 (358775)
Polovodičové součástky - Mikroelektromechanické součástky - Část 17: Zkušební metoda vyboulení pro měření mechanických vlastností tenkých vrstev
ČSN EN 62047-18 (358775)
Polovodičové součástky - Mikroelektromechanické součástky - Část 18: Metoda zkoušení ohybu tenkovrstvých materiálů
ČSN EN 62047-19 (358775)
Polovodičové součástky - Mikroelektromechanické součástky - Část 19: Elektronické kompasy