Část 1 normy obsahuje terminologii polovodičových a mikroeletromechanických součástek. V normě jsou definice a vysvětlující poznámky ke všeobecným termínům a dále k termínům vztahujícím se k vědě a technice, nauce o materiálech, funkčnímu prvku, technologii zpracování, technologii spojování a montáže, technice hodnocení a vztahujícím se na aplikaci technologie.
IEC 62047 se skládá z následujících částí, se společným názvem Polovodičové součástky - Mikroelektronické součástky: Část 1: Termíny a definice
Část 2: Metody zkoušek v tahu tenkovrstvových materiálů
Část 3: Tenkovrstvové normalizované zkušební kusy pro zkoušku v tahu
Označení | ČSN EN 62047-1 (358775) |
---|---|
Katalogové číslo | 78083 |
Cena | 340 Kč340 |
Datum schválení | 1. 4. 2007 |
Datum účinnosti | 1. 5. 2007 |
Jazyk | čeština |
Počet stran | 24 stran formátu A4 |
EAN kód | 8590963780832 |
Změny a opravy | Z1 9.16t |
Norma byla zrušena k | 10. 2. 2019 |
a nahrazena | ČSN EN 62047-1 ed. 2 (358775) |
Dostupnost | skladem (tisk na počkání) |
ČSN EN 62047-1 ed. 2 (358775)
Polovodičové součástky - Mikroelektromechanické součástky - Část 1: Termíny a definice
ČSN EN 62047-10 (358775)
Polovodičové součástky - Mikroelektromechanické součástky - Část 10: Zkouška tlakem mikrosloupku pro materiály MEMS
ČSN EN 62047-11 (358775)
Polovodičové součástky - Mikroelektromechanické součástky - Část 11: Zkušební metoda pro koeficienty lineární tepelné roztažnosti volně umístěných materiálů pro mikroelektromechanické systémy
ČSN EN 62047-12 (358775)
Polovodičové součástky - Mikroelektromechanické součástky - Část 12: Metoda zkoušení ohybové únavy tenkovrstvých materiálů využívající rezonanční vibrace struktur MEMS
ČSN EN 62047-13 (358775)
Polovodičové součástky - Mikroelektromechanické součástky - Část 13: Namáhání struktur MEMS ohybem a střihem pro měření adhezní pevnosti
ČSN EN 62047-14 (358775)
Polovodičové součástky - Mikroelektromechanické součástky - Část 14: Metoda měření mezní tvářitelnosti materiálů kovové vrstvy
ČSN EN 62047-16 (358775)
Polovodičové součástky - Mikroelektromechanické součástky - Část 16: Metody zkoušení pro stanovení zbytkového pnutí vrstev MEMS - Metody zakřivení desky a ohyb konzolového nosníku
ČSN EN 62047-17 (358775)
Polovodičové součástky - Mikroelektromechanické součástky - Část 17: Zkušební metoda vyboulení pro měření mechanických vlastností tenkých vrstev
ČSN EN 62047-18 (358775)
Polovodičové součástky - Mikroelektromechanické součástky - Část 18: Metoda zkoušení ohybu tenkovrstvých materiálů
ČSN EN 62047-19 (358775)
Polovodičové součástky - Mikroelektromechanické součástky - Část 19: Elektronické kompasy