This part of ISO 14644 specifies a methodology to assess the suitability of equipment (e.g. machinery, measuring equipment, process equipment, components and tools) for use in cleanrooms and associated controlled environments, with respect to airborne particle cleanliness as specified in ISO 14644-1. Particle sizes range from 0,1 µm to equal to or larger than 5 µm (given in ISO 14644-1).
NOTE Where regulatory agencies impose supplementary guidelines or restrictions, appropriate adaptation of the assessment methodology can be required.
The following items are not covered by this part of ISO 14644 - assessment of suitability with respect to biocontamination; testing for suitability of decontamination agents and techniques; cleanability of equipment and materials; requirements on design of equipment and selection of materials; physical properties of materials (e.g. electrostatic, thermal properties); optimizing performance of equipment for specific process applications; selection and use of statistical methods for testing; protocols and requirements for local safety regulations.
Označení | ČSN EN ISO 14644-14 (125301) |
---|---|
Katalogové číslo | 501607 |
Cena | 350 Kč350 |
Datum schválení | 1. 4. 2017 |
Datum účinnosti | 1. 5. 2017 |
Jazyk | angličtina (obsahuje pouze anglický originál) |
Počet stran | 36 stran formátu A4 |
EAN kód | 8596135016075 |
Dostupnost | skladem (tisk na počkání) |
ČSN EN ISO 14644-1 (125301)
Čisté prostory a příslušná řízená prostředí - Část 1: Klasifikace čistoty vzduchu podle koncentrace částic
ČSN EN ISO 14644-10 (125301)
Čisté prostory a příslušná řízená prostředí - Část 10: Klasifikace čistoty povrchů podle koncentrace chemických látek
ČSN EN ISO 14644-13 (125301)
Čisté prostory a příslušná řízená prostředí - Část 13: Čištění povrchů pro dosažení definovaných úrovní čistoty povrchů klasifikovaných podle koncentrace částic a chemických látek
ČSN EN ISO 14644-15 (125301)
Čisté prostředí a příslušné řízené prostředí - Část 15: Posuzování vhodnosti použití zařízení a materiálů podle chemické koncentrace ve vzduchu
ČSN EN ISO 14644-16 (125301)
Čisté prostory a příslušná řízená prostředí - Část 16: Energetická účinnost čistých prostor a zařízení pracujících s čistým vzduchem
ČSN EN ISO 14644-17 (125301)
Čisté prostory a příslušná řízená prostředí - Část 17: Využití rychlosti usazování částic
ČSN EN ISO 14644-18 (125301)
Čisté prostory a příslušná řízená prostředí - Část 18: Posuzování vhodnosti spotřebního materiálu
ČSN EN ISO 14644-2 (125301)
Čisté prostory a příslušné řízené prostředí - Část 2: Sledování pro zjištění vlastností čistého prostoru týkajících se čistoty vzduchu podle koncentrace částic
ČSN EN ISO 14644-3 (125301)
Čisté prostory a příslušná řízená prostředí - Část 3: Zkušební metody
ČSN EN ISO 14644-4 (125301)
Čisté prostory a příslušná řízená prostředí - Část 4: Návrh, konstrukce a uvádění do provozu