ČSN EN ISO 14644-10 (12 5301)
This document establishes appropriate testing processes to determine the cleanliness of surfaces in cleanrooms with regard to the presence of chemical compounds or elements (including molecules, ions, atoms and particles). This document is applicable to all solid surfaces in cleanrooms and associated controlled environments such as walls, ceilings, floors, worksurfaces, tools, equipment and devices.
NOTE 1 - For the purpose of this document, consideration is only given to the chemical characteristics of a particle. The physical properties of the particle are not considered and this document does not cover the interaction between the contamination and the surface.
NOTE 2 - This document does not include the contamination generation process or any time-dependent influences (e.g. deposition, sedimentation, ageing) or process-dependent activities such as transportation and handling. Neither does it include guidance on statistical quality-control techniques to ensure compliance.
Označení | ČSN EN ISO 14644-10 (125301) |
---|---|
Katalogové číslo | 515524 |
Cena | 440 Kč440 |
Datum schválení | 1. 11. 2022 |
Datum účinnosti | 1. 12. 2022 |
Jazyk | angličtina (obsahuje pouze anglický originál) |
Počet stran | 44 stran formátu A4 |
EAN kód | 8596135155248 |
Tato norma nahradila | ČSN EN ISO 14644-10 (125301) z července 2013 |
Dostupnost | skladem (tisk na počkání) |
ČSN EN ISO 14644-1 (125301)
Čisté prostory a příslušná řízená prostředí - Část 1: Klasifikace čistoty vzduchu podle koncentrace částic
ČSN EN ISO 14644-13 (125301)
Čisté prostory a příslušná řízená prostředí - Část 13: Čištění povrchů pro dosažení definovaných úrovní čistoty povrchů klasifikovaných podle koncentrace částic a chemických látek
ČSN EN ISO 14644-14 (125301)
Čisté prostory a příslušné řízené prostředí - Část 14: Posuzování vhodnosti použití zařízení podle koncentrace částic ve vzduchu
ČSN EN ISO 14644-15 (125301)
Čisté prostředí a příslušné řízené prostředí - Část 15: Posuzování vhodnosti použití zařízení a materiálů podle chemické koncentrace ve vzduchu
ČSN EN ISO 14644-16 (125301)
Čisté prostory a příslušná řízená prostředí - Část 16: Energetická účinnost čistých prostor a zařízení pracujících s čistým vzduchem
ČSN EN ISO 14644-17 (125301)
Čisté prostory a příslušná řízená prostředí - Část 17: Využití rychlosti usazování částic
ČSN EN ISO 14644-18 (125301)
Čisté prostory a příslušná řízená prostředí - Část 18: Posuzování vhodnosti spotřebního materiálu
ČSN EN ISO 14644-2 (125301)
Čisté prostory a příslušné řízené prostředí - Část 2: Sledování pro zjištění vlastností čistého prostoru týkajících se čistoty vzduchu podle koncentrace částic
ČSN EN ISO 14644-3 (125301)
Čisté prostory a příslušná řízená prostředí - Část 3: Zkušební metody
ČSN EN ISO 14644-4 (125301)
Čisté prostory a příslušná řízená prostředí - Část 4: Návrh, konstrukce a uvádění do provozu