ČSN EN ISO 14644-9 (12 5301)
This document establishes a procedure for the assessment of particle cleanliness levels on solid surfaces in cleanrooms and associated controlled environment applications. Recommendations on testing and measuring methods, as well as information about surface characteristics, are given in Annexes A to D.
This document applies to all solid surfaces in cleanrooms and associated controlled environments, such as walls, ceilings, floors, working environments, tools, equipment and products. The procedure for the assessment of surface cleanliness by particle concentration (SCP) is limited to particles of between 0,05 µm and 500 µm.
The following issues are not considered in this document:
- requirements for the cleanliness and suitability of surfaces for specific processes;
- procedures for the cleaning of surfaces;
- material characteristics;
- references to interactive bonding forces or generation processes that are usually time-dependent and process-dependent;
- selection and use of statistical methods for assessment and testing;
- other characteristics of particles, such as electrostatic charge, ionic charges and microbiological state.
Označení | ČSN EN ISO 14644-9 (125301) |
---|---|
Katalogové číslo | 515523 |
Cena | 440 Kč440 |
Datum schválení | 1. 11. 2022 |
Datum účinnosti | 1. 12. 2022 |
Jazyk | angličtina (obsahuje pouze anglický originál) |
Počet stran | 40 stran formátu A4 |
EAN kód | 8596135155231 |
Tato norma nahradila | ČSN EN ISO 14644-9 (125301) z února 2013 |
Dostupnost | skladem (tisk na počkání) |
ČSN EN ISO 14644-1 (125301)
Čisté prostory a příslušná řízená prostředí - Část 1: Klasifikace čistoty vzduchu podle koncentrace částic
ČSN EN ISO 14644-10 (125301)
Čisté prostory a příslušná řízená prostředí - Část 10: Klasifikace čistoty povrchů podle koncentrace chemických látek
ČSN EN ISO 14644-13 (125301)
Čisté prostory a příslušná řízená prostředí - Část 13: Čištění povrchů pro dosažení definovaných úrovní čistoty povrchů klasifikovaných podle koncentrace částic a chemických látek
ČSN EN ISO 14644-14 (125301)
Čisté prostory a příslušné řízené prostředí - Část 14: Posuzování vhodnosti použití zařízení podle koncentrace částic ve vzduchu
ČSN EN ISO 14644-15 (125301)
Čisté prostředí a příslušné řízené prostředí - Část 15: Posuzování vhodnosti použití zařízení a materiálů podle chemické koncentrace ve vzduchu
ČSN EN ISO 14644-16 (125301)
Čisté prostory a příslušná řízená prostředí - Část 16: Energetická účinnost čistých prostor a zařízení pracujících s čistým vzduchem
ČSN EN ISO 14644-17 (125301)
Čisté prostory a příslušná řízená prostředí - Část 17: Využití rychlosti usazování částic
ČSN EN ISO 14644-18 (125301)
Čisté prostory a příslušná řízená prostředí - Část 18: Posuzování vhodnosti spotřebního materiálu
ČSN EN ISO 14644-2 (125301)
Čisté prostory a příslušné řízené prostředí - Část 2: Sledování pro zjištění vlastností čistého prostoru týkajících se čistoty vzduchu podle koncentrace částic
ČSN EN ISO 14644-3 (125301)
Čisté prostory a příslušná řízená prostředí - Část 3: Zkušební metody