ČSN IEC 62047-28 (358775)
Polovodičové součástky - Mikroelektromechanické součástky - Část 28: Provozní zkouška pro vibracemi buzené elektretové součástky MEMS získávající energii
(kliknutím zvětšíte)
Anotace obsahu normy
Tato norma specifikuje termíny a definice a provozní zkoušku pro vibracemi buzené elektretové součástky MEMS získávající energii za účelem stanovení charakteristických parametrů pro spotřebitelské, průmyslové a jiné aplikace.
Norma se týká vibracemi buzených elektretových součástek získávající energii, jejichž elektrody jsou vzdáleny méně než 1 000 µm a jsou pokryty dielektrickým materiálem se zachycenými náboji a jsou vyrobeny pomocí procesů MEMS jako je leptání, fotolitografie nebo depozice.
| Označení | ČSN IEC 62047-28 (358775) |
|---|---|
| Katalogové číslo | 503432 |
| Cena | 340 Kč340 |
| Datum schválení | 1. 10. 2017 |
| Datum účinnosti | 1. 11. 2017 |
| Jazyk | angličtina (obsahuje anglický text a českou titulní stranu) |
| Počet stran | 24 stran formátu A4 |
| EAN kód | 8596135034321 |
| Dostupnost | skladem (tisk na počkání) |
Další příbuzné normy
ČSN EN 62047-1 ed. 2 (358775)
Polovodičové součástky - Mikroelektromechanické součástky - Část 1: Termíny a definice
ČSN EN 62047-10 (358775)
Polovodičové součástky - Mikroelektromechanické součástky - Část 10: Zkouška tlakem mikrosloupku pro materiály MEMS
ČSN EN 62047-11 (358775)
Polovodičové součástky - Mikroelektromechanické součástky - Část 11: Zkušební metoda pro koeficienty lineární tepelné roztažnosti volně umístěných materiálů pro mikroelektromechanické systémy
ČSN EN 62047-12 (358775)
Polovodičové součástky - Mikroelektromechanické součástky - Část 12: Metoda zkoušení ohybové únavy tenkovrstvých materiálů využívající rezonanční vibrace struktur MEMS
ČSN EN 62047-13 (358775)
Polovodičové součástky - Mikroelektromechanické součástky - Část 13: Namáhání struktur MEMS ohybem a střihem pro měření adhezní pevnosti
ČSN EN 62047-14 (358775)
Polovodičové součástky - Mikroelektromechanické součástky - Část 14: Metoda měření mezní tvářitelnosti materiálů kovové vrstvy
ČSN EN 62047-16 (358775)
Polovodičové součástky - Mikroelektromechanické součástky - Část 16: Metody zkoušení pro stanovení zbytkového pnutí vrstev MEMS - Metody zakřivení desky a ohyb konzolového nosníku
ČSN EN 62047-17 (358775)
Polovodičové součástky - Mikroelektromechanické součástky - Část 17: Zkušební metoda vyboulení pro měření mechanických vlastností tenkých vrstev
ČSN EN 62047-18 (358775)
Polovodičové součástky - Mikroelektromechanické součástky - Část 18: Metoda zkoušení ohybu tenkovrstvých materiálů
ČSN EN 62047-19 (358775)
Polovodičové součástky - Mikroelektromechanické součástky - Část 19: Elektronické kompasy